研究内容

ナノカーボン合成装置

グラフェンなどの合成を高温で行います。

試料の高温処理に利用します。

クリーンな環境での試料準備ができます。

ロボットアームを利用して、ナノデバイス作製の自動化を目指しています。

低温・高真空環境下でデバイスの特性を評価できます。

電子デバイスを真空内で評価できます。

大気環境でバイオセンサー動作の実証などに利用します。

試料のキャリア濃度を評価することができます。

機械剥離グラフェンやh-BNフレークの観察に利用します。

チップキャリアをマウントできるように改造中です。